軟性奈米壓印技術具應用潛力
鄭克勇老師指導的量子結構元件實驗室研製的軟性奈米壓印技術具有低成本、快速、簡單極高量產效率,可替代傳統奈米微影的技術。目前已成功將此技術運用在三五族的光電元件製程。
詳細內容請參考 http://apl.aip.org/resource/1/applab/v99/i16/p163106_s1?view=fulltext
http://apl.aip.org/resource/1/applab/v101/i14/p141127_s1?view=fulltext