黃智方老師(下圖右二)指導的寬能隙半導體實驗室(WBG Lab, Wide Bandgap Lab)與華盛頓州立大學工程與計算機科學學院的趙峰教授 (下圖右一)指導的微/奈米电子與能源實驗室(Micro/Nanoelectronics and Energy Lab)合作已有五、六年,一直以來互相支援技術,共同發表期刊論文。趙峰教授於今年(2013)更是獲得華盛頓州立大學的 國際研究旅遊獎助,來到清華大學WBG Lab進行學術交流一個月,分享他在寬能隙半導體功率元件、光致開關及微機電(MEMS)等方面的研究經驗。同時利用平常餐會的機會,趙峰教授分享海外留學生活一些故事,以提供實驗室學生們對於未來的規劃有多一些認知跟選擇。
趙峰教授的專長包括下列兩個方向:
1. Wide bandgap semiconductor (SiC and GaN) based high voltage/power switching devices for energy conversion and power management.
2. SiC MEMS/NEMS for biomedical and harsh environments
關於趙峰教授在SiC MEMS方面的研究成果簡單介紹如下。MEMS的製作常常需要以化學性蝕刻分離上下兩層材料以實現如懸臂或是橋梁的MEMS結構,然而因為單晶SiC的強韌性質,對於化學性蝕刻的耐受性相當高,所以在製作MEMS結構相當的困難,趙峰教授则以電化學的方式實現單晶SiC MEMS結構,比起Si MEMS可以耐高熱並操作在嚴苛環境裡,同時做為在微波電路被動元件有更高的Quality factor。以下是SiC MEMS結構的電子顯微鏡照片。
除了MEMS結構之外,趙峰教授並和本實驗室合作SiC功率元件及光致開關等題目。在研究閒暇之餘,WBG Lab的研究生們與趙峰教授常常一起享用新竹的美食。感謝這次難得的機會有國際學者長期來訪,讓學生們獲得了相當充實且寶貴的經驗。